前言：
洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。
十万级无尘车间：是指空气洁净度为十万级的洁净车间。空气洁净度是指洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低，含尘浓度低则空气洁净度高。就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。
本文多角度阐述10万级洁净车间建造的标准规范,结合现行各规范标准,归纳出洁净度10万级净化车间的特点。
从换气次数角度上来说：
100000（10万）级要求每小时换气18-25次，完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
10000（1万）级别要求每小时换气25-30次，完全换气后空气净化时间不超过30分钟。
1000（1千）级别要求每小时换气40-60次，完全换气后空气净化时间不超过20分钟。
各种等级包括10万级净化车间洁净度标准参考如下：
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净区（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准）
|
空气洁净度等级（N） |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） |
|||||
|
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
|
|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
|
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
|
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
|
ISO Class 7 |
|
352 000 |
83 200 |
2 930 |
||
|
ISO Class 8 |
|
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
||
|
ISO Class 9 |
|
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
||
|
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 |
||||||
空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中国标准）
|
粒径、数值洁净度级别 |
尘埃最大允许数/立方米 |
微生物最大允许数 |
||
|
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
|
|
100 级 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
|
10,000 级 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
|
100,000 级 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
|
300,000 级 |
10,500,000 |
60,000 |
— |
15 |
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：
|
空气洁净度等级（N） |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） |
||||
|
0.3um |
0.5um |
5um |
10um |
25 um |
|
|
C |
100 |
35 |
0 |
|
|
|
D |
1000 |
350 |
0 |
||
|
E |
10000 |
3500 |
0 |
||
|
F |
|
3500 |
0 |
||
|
G |
100000 |
35000 |
200 |
0 |
|
|
H |
|
35000 |
200 |
0 |
|
|
J |
|
350000 |
2000 |
450 |
0 |
|
K |
|
3500000 |
20000 |
4500 |
500 |
|
L |
|
|
200000 |
45000 |
5000 |
|
M |
|
450000 |
50000 |
||
各种国际洁净度标准的比较：
|
美国联邦 |
美国联邦 |
英国标准 |
澳大利亚标准 |
法国标准 |
德国标准 |
国际标准 |
日本标准 |
|
标准 209D |
标准 209E |
BS5295 |
AS1386 |
AFNORX44101 |
VDI2083 |
14644-1 |
JACA24 |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
1 |
|
|
|
|
|
— |
0 |
2 |
2 |
|
1 |
M1.5 |
C |
0.035 |
— |
1 |
3 |
3 |
|
10 |
M2.5 |
D |
0.35 |
— |
2 |
4 |
4 |
|
100 |
M3.5 |
E |
3.5 |
4000 |
3 |
5 |
5 |
|
1000 |
M4.5 |
G |
35 |
— |
4 |
6 |
6 |
|
10000 |
M5.5 |
J |
350 |
400000 |
5 |
7 |
7 |
|
100000 |
M6.5 |
K |
3500 |
4000000 |
6 |
8 |
8 |
|
|
|
M |
|
|
7 |
9 |
— |
综上以上标准，可以得出10万级无尘车间净化对应的参数如下：
|
洁净度等级 |
尘粒最大允许数/pc.m3 |
换气次数/h |
气流流型 |
|
|
≥0.5μm |
≥5μm |
|||
|
100 000 |
3 500 000 |
20 000 |
10~15 |
非单向流 |
10万级无尘车间净化标准
1.尘粒最大允许数（每立方米）；
2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个，大或等于5微米的粒子数不得超过20000个；
3.微生物最大允许数；
4.浮游菌数不得超过500个每立方米；
5.沉隆菌数不得超过10个每培养皿。
压差：相同洁净度等级的净化车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa，净化车间与非净化车间之间要≥10Pa
