前言:
洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。
十万级无尘车间:是指空气洁净度为十万级的洁净车间。空气洁净度是指洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度,通常空气中含尘浓度高则空气洁净度低,含尘浓度低则空气洁净度高。就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。
本文多角度阐述10万级洁净车间建造的标准规范,结合现行各规范标准,归纳出洁净度10万级净化车间的特点。
从换气次数角度上来说:
100000(10万)级要求每小时换气18-25次,完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
10000(1万)级别要求每小时换气25-30次,完全换气后空气净化时间不超过30分钟。
1000(1千)级别要求每小时换气40-60次,完全换气后空气净化时间不超过20分钟。
各种等级包括10万级净化车间洁净度标准参考如下:
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净区(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)
空气洁净度等级(N)
|
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
|
0.1 um
|
0.2 um
|
0.3 um
|
0.5um
|
1um
|
5 um
|
ISO Class 1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
ISO Class 2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
ISO Class 3
|
1 000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
ISO Class 4
|
10 000
|
2 370
|
1 020
|
352
|
83
|
ISO Class 5
|
100 000
|
23 700
|
10 200
|
3 520
|
832
|
29
|
ISO Class 6
|
1 000 000
|
237 000
|
102 000
|
35 200
|
8 320
|
293
|
ISO Class 7
|
|
352 000
|
83 200
|
2 930
|
ISO Class 8
|
|
3 520 000
|
832 000
|
29 300
|
ISO Class 9
|
|
35 200 000
|
8 320 000
|
293 000
|
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
|
空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996 (中国标准)
粒径、数值洁净度级别
|
尘埃最大允许数/立方米
|
微生物最大允许数
|
≥0.5um
|
≥5um
|
浮游菌/立方米
|
沉降菌/皿
|
100 级
|
3,500
|
0
|
5
|
1
|
10,000 级
|
350,000
|
2,000
|
100
|
3
|
100,000 级
|
3,500,000
|
20,000
|
500
|
10
|
300,000 级
|
10,500,000
|
60,000
|
—
|
15
|
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级:
空气洁净度等级(N)
|
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
|
0.3um
|
0.5um
|
5um
|
10um
|
25 um
|
C
|
100
|
35
|
0
|
|
|
D
|
1000
|
350
|
0
|
E
|
10000
|
3500
|
0
|
F
|
|
3500
|
0
|
G
|
100000
|
35000
|
200
|
0
|
H
|
|
35000
|
200
|
0
|
J
|
|
350000
|
2000
|
450
|
0
|
K
|
|
3500000
|
20000
|
4500
|
500
|
L
|
|
|
200000
|
45000
|
5000
|
M
|
|
450000
|
50000
|
各种国际洁净度标准的比较:
美国联邦
|
美国联邦
|
英国标准
|
澳大利亚标准
|
法国标准
|
德国标准
|
国际标准
|
日本标准
|
标准 209D
|
标准 209E
|
BS5295
|
AS1386
|
AFNORX44101
|
VDI2083
|
14644-1
|
JACA24
|
|
|
|
|
|
|
1
|
1
|
|
|
|
|
—
|
0
|
2
|
2
|
1
|
M1.5
|
C
|
0.035
|
—
|
1
|
3
|
3
|
10
|
M2.5
|
D
|
0.35
|
—
|
2
|
4
|
4
|
100
|
M3.5
|
E
|
3.5
|
4000
|
3
|
5
|
5
|
1000
|
M4.5
|
G
|
35
|
—
|
4
|
6
|
6
|
10000
|
M5.5
|
J
|
350
|
400000
|
5
|
7
|
7
|
100000
|
M6.5
|
K
|
3500
|
4000000
|
6
|
8
|
8
|
|
|
M
|
|
|
7
|
9
|
—
|
综上以上标准,可以得出10万级无尘车间净化对应的参数如下:
洁净度等级
|
尘粒最大允许数/pc.m3
|
换气次数/h
|
气流流型
|
≥0.5μm
|
≥5μm
|
100 000
|
3 500 000
|
20 000
|
10~15
|
非单向流
|
10万级无尘车间净化标准
1.尘粒最大允许数(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个;
3.微生物最大允许数;
4.浮游菌数不得超过500个每立方米;
5.沉隆菌数不得超过10个每培养皿。
压差:相同洁净度等级的净化车间压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa
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